Journal Title:Ieee Transactions On Semiconductor Manufacturing
The IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing addresses the challenging problems of manufacturing complex microelectronic components, especially very large scale integrated circuits (VLSI). Manufacturing these products requires precision micropatterning, precise control of materials properties, ultraclean work environments, and complex interactions of chemical, physical, electrical and mechanical processes.
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 解决了制造复杂微电子元件,尤其是超大规模集成电路 (VLSI) 的挑战性问题。制造这些产品需要精确的微图案、材料特性的精确控制、超洁净的工作环境以及化学、物理、电气和机械过程的复杂相互作用。
大类学科 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
工程技术 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程:电子与电气 PHYSICS, APPLIED 物理:应用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理:凝聚态物理 ENGINEERING, MANUFACTURING 工程:制造 | 4区 | 是 | 是 |
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工程技术 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程:电子与电气 PHYSICS, APPLIED 物理:应用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理:凝聚态物理 ENGINEERING, MANUFACTURING 工程:制造 | 4区 |
期刊名称 | 领域 | 中科院分区 | 影响因子 |
Applicable Algebra In Engineering Communication And Computing | 工程技术 | 4区 | 0.700 |
Revista Romana De Materiale-romanian Journal Of Materials | 工程技术 | 4区 | 0.700 |
Lasers In Engineering | 工程技术 | 4区 | 0.500 |
Science And Technology For The Built Environment | 工程技术 | 4区 | 1.900 |
Numerical Heat Transfer Part B-fundamentals | 工程技术 | 4区 | 1.000 |
Numerical Heat Transfer Part B-fundamentals | 工程技术 | 4区 | 1.000 |